在剛剛結束的第15屆慕尼黑上海光學博覽會上，一場精彩的新產品發布會迅速舉行，包括光盤激光器、納秒激光器、飛秒激光器和新一代激光三維機床。新聞發布會結束后，OFweek激光網采訪了通快中國激光部總經理黃哲。

中國激光技術總經理黃哲發布了15款新產品 圖片來源：OFweek激光網

SPI納入快遞品牌 新產品經常發布亮點

今年4月，通快中國和SPI中國將簽署合并協議SPI 中國團隊順利合并進通快(中國)，實現銷售、市場、售后一體化管理。事實上，2008年快速收購SPI后，SPI作為通快集團旗下的品牌獨立經營，但隨著市場環境的變化，合并經營比分離經營具有更多的優勢，因此兩者合并。黃哲向OFweek激光解釋說：中國市場的許多客戶都很快SPI品牌整合將更有利于為客戶提供服務。例如，在過去，過去需要6個kW激光器，但很難選擇，因為它仍然是光纖。現在，品牌與服務整合后，我們將根據客戶的具體需求和應用推送較合適的產品，大大提高服務效率和用戶體驗，實現雙贏局面。”

SPI首次聯合展吸引了大量觀眾駐足 (圖片來源:OFweek激光網）

合并后的第一次展覽，通快與SPI還推出了一系列新產品。黃哲說：黃哲說：SPI光纖激光器主要是產品的更新和性能的提高，如原個單模脈沖激光器W功率倍增達到100W，EP-Z準單模納秒激光器也在200W提升到250W。這兩款產品在功率和其他性能指標方面都處于行業領先地位。”

而通快中國激光帶來了更多革命性的產品。黃哲補充說:我們這次推出4000W紫外納秒激光器可視為革命性產品。從技術上講，紫外納秒激光器在當今市場實現了200W已經很難了，但是通快達到了400W。在應用方面，該激光可以取代一些被準分子激光壟斷的應用市場，如柔性屏幕工藝中的激光剝離工藝。此外，30W飛秒紫外激光器，2kW綠光激光器高功率高亮度，8kW新一代多光路碟片激光器可以為行業提供更多的優質光源，為提高整體解決方案的效率奠定基礎。”

碟片激光器VS面對不同的應用場景，光纖激光器各有優勢

快盤激光技術處于世界領先地位，SPI它在光纖激光市場上享有良好的聲譽和技術實力。如何結合這兩種技術解決用戶的問題？這兩種技術各有特點是什么？對于這樣的問題，黃哲OFweek激光網給出了自己的答案。

眾所周知，光纖激光器的模塊化結構在實現功率方面具有很大的優勢，可以形成100瓦、1000瓦、2000瓦等不同功率的細產品線。同時，光纖耦合技術的成熟也使成千上萬的功率非常容易。目前，市場上許多企業已經推出了3萬瓦甚至更高功率的光纖激光產品。同時，光纖激光器光束質量好，切割應用優勢明顯。目前，金屬切割是工業市場上應用較廣泛的激光，對加工精度要求不高，但對效率和成本要求較高。因此，更靈活的光纖激光器在這個市場上具有無與倫比的優勢。

光纖激光在靈活性方面占主導地位，但盤式激光在功能方面具有明顯的優勢，可以實現許多光纖激光難以實現的功能。比如綠光激光器，光纖激光器需要通過腔外倍頻將紅外光變成綠光，技術難度大，但碟片激光器可以直接在腔內倍頻，功率更穩定。此外，光盤激光器的傳輸光纖可以即插即拔，較大限度地降低客戶的停工成本，這是光纖激光器與光纖激光器相比的獨特優勢。

通快發布2kW連續綠光盤激光器高功率高亮度 (圖片來源:通快)

更重要的是，光盤激光器的功率穩定性。黃哲說：我們可以向客戶保證，在光盤激光產品的整個使用壽命周期（從使用的第一天到報廢，不僅是保修期），始終保持 ±1%的光穩定性。這主要是因為光纖激光器無法實現快速光盤激光器內部的閉路功率控制循環。技術路線的差異決定了產品的優勢。

黃哲總結說：我認為光盤和光纖是兩條技術路線，各有優缺點。例如，汽車行業對穩定性和一致性要求較高，更適合使用碟片激光器。但在切割領域，需要盡快收回投資成本，對加工精度要求不高，光纖激光激光更有優勢。通快結合了這兩個優點，包括通快本身的碟片激光器和SPI產品線齊全的光纖激光器，可根據客戶需要提供較合適的產品，既高又接地氣。”

3萬瓦C O 2 激光放大器 為何能獨占EUV光刻光源市場

說到快速黑技術，必須提到供應A L、用于EUV光刻機的獨門光源-3萬瓦C O 2 激光系統。EUV光刻是光刻機發展的第五代技術，也是目前較先進的技術。前四代光刻機均為深紫外光(準分子激光器)UV但在摩爾定律的推動下，半導體行業對芯片的需求已經發展到5nm，甚至是3nm，沉浸式光刻面臨著更嚴重的鏡頭孔徑和材料挑戰。較小工藝節點可以推到5nm、3nm的第五代 EUV光刻機已成為半導體行業不可缺少的重磅武器。

EUV光刻較大的挑戰之一是如何產生波長極短的13.5nm的光。為了實現這一點，A L(光刻系統制造商)，Zeiss(鏡頭制造商)與通快(光源制造商)密切合作，通過多年的努力，較終開發出每秒可加工100多個晶圓的獨特之處CO 2激光系統。該系統的工作過程是：錫發生器每秒通過真空室發射5萬滴錫珠，并被激光脈沖擊。當激光脈沖擊中錫珠時，錫珠被電離并產生高強度等離子體，波長為13.5nm的EUV光。然后收集器收集EUV光，通過反射鏡輸送到光刻機，雕刻晶圓。

為了產生能使錫珠電離的激光脈沖，基于其二氧化碳激光技術，快速開發了一套獨特的激光放大器。在五個放大階段，該設備可以提高一個弱激光脈沖超過1萬次，輸出超過3萬瓦的平均脈沖功率，脈沖峰值功率可以高達幾兆瓦。

事實上，通快能抓住這個機會，與其經營理念密不可分。無論快還是快，黃哲說SPI，我們的想法是做較先進的技術，做較好的質量產品，而不是追求企業利益較大化或銷售、市場份額等財務報表上的數據。此外，通快是一家不受投資者影響的家族企業，因此可以花更長的時間進行研發，使產品達到極致。比如用于EUV激光系統，我們投資了十多年的冤枉錢，十多年前不可能預測未來的市場，當時純粹是投資，但較終的結果證明，過去十年的投資并不錯。其實做CO 2 激光器的企業很多，但堅持看不到收入，較終實現快速，也讓快速站穩EUV光刻市場。”

通快對技術的軸力不僅體現在EUV事實上，碟片激光器的投資也是如此。碟片激光器問世后，一度受到業界的歡迎，許多企業涌入希望分一杯羹。但由于種種因素，到目前為止，只有通快一家能夠在工業市場上量產盤片激光器。黃哲說：這種勢頭需要對技術有熱情和耐心。面對市場的變化，我們不能驚慌失措，堅定研發方向。”

總結和思考：國內激光企業何時才能實現真正的進口替代？

離開通快展臺，OFweek激光網絡小邊陷入沉思。近年來，國內激光產業發展迅速，無論是市場應用的爆炸性增長還是核心技術的逐步突破，加上國內替代進口也在產業鏈的各個位置上演，都突出了中國激光產業的強大活力。但不可否認的是，隨著國內化率的不斷提高，很難出現像快速一樣不壞的產品。

筆者認為，國內激光企業很難獲得快速的聲譽。一方面，快速受益于其97年的技術積累和沉淀。近百年的發展為其奠定了極其深厚的技術遺產，而國內激光企業面向市場還不到30年。另一方面，國內激光行業近年來受到資本的歡迎，資本市場對企業的經營理念有很大的影響，因此很難進行技術開發。

總的來說，我國激光產業起步較晚，與國外先進企業存在一定差距。然而，由于國內完善的產業鏈和巨大的需求市場，它仍有良好的發展前景。如果企業在享受市場紅利后，可以逐一突破不足，注重培養內部技能，加強技術研發，有一天可以實現從市場份額到聲譽的全面、真正的進口替代。